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特點(diǎn)
1.MGH系列測(cè)量機(jī)采用封閉框架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，是高精度精密型測(cè)量機(jī)的專(zhuān)用結(jié)構(gòu)。由固定橋和工作臺(tái)移動(dòng)組成，其牢固的機(jī)械結(jié)構(gòu)確保了系統(tǒng)具備較大的剛性、的穩(wěn)定性和較小的振動(dòng)，保證了整個(gè)測(cè)量空間較高的測(cè)量精度。
2.軸運(yùn)動(dòng)采用中央驅(qū)動(dòng)，避免了Y向運(yùn)動(dòng)中的偏擺，提高了Y軸的運(yùn)動(dòng)精度 Y軸導(dǎo)軌采用燕尾槽定位方式，以保證運(yùn)動(dòng)時(shí)的較大剛性及精度。 三軸導(dǎo)軌均采用優(yōu)質(zhì)花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，因而具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗實(shí)效變形能力，鋼性好、動(dòng)態(tài)幾何誤差變形較小。
3.三軸導(dǎo)軌均采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承，運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)。光柵的布置接近被測(cè)工件，遵循了阿貝誤差原理，減小了系統(tǒng)誤差。驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用進(jìn)口高性能直流伺服電機(jī)、進(jìn)口摩擦桿傳動(dòng)裝置，確保傳動(dòng)更快捷、更精準(zhǔn)、運(yùn)動(dòng)性能更佳。 Z軸采用氣缸平衡裝置，極大的提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性。
性能參數(shù)
測(cè)量范圍(mm)X:500
測(cè)量范圍(mm)Y:600
測(cè)量范圍(mm)Z:400
探測(cè)系統(tǒng):PH10T+TP20 靜態(tài)溫度補(bǔ)償系統(tǒng)
分辨率:0.1μm
示值誤差(μm):1.5+L/350
探測(cè)誤差(μm):1.8
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